混合磨料拋光液
拋磨工件材質(zhì)的升級和發(fā)展，對鏡面要求越來越高，單一的磨料已無法滿足CMP行業(yè)需求，研究人員開始嘗試將不同粒徑、不同形貌的一種或多種粒子組合到一起使用，開發(fā)出混合型拋光液。
比如混合氧化硅拋光液，在大粒徑二氧化硅中加入小粒徑的氧化硅，能明顯提高拋光速率，且粒徑相差越大提升率越高，這是因為磨料在總的質(zhì)量分?jǐn)?shù)不變的條件下，增大小粒徑磨料的占比能增加硅溶膠顆粒的總體數(shù)量，從而起到了提高拋光速率的作用。
大量的研究成果表明，混合粒子的使用能夠不同程度的提高化學(xué)機械拋光的速率，但是對拋光后表面粗糙度的影響有好有壞，不同類型磨料混合使用對CMP拋光結(jié)果的影響規(guī)律仍有待進一步研究和優(yōu)化。
無錫吉致電子科技有限公司（http://www.jzdz-wx.com/）
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此文關(guān)鍵字：拋光液 CMP拋光液 混合磨料拋光液 氧化硅拋光液 拋光液生產(chǎn)廠家
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